產(chǎn)業(yè)鏈觀察丨河南省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈 感知世界 導(dǎo)向未來

洛陽中硅高科技有限公司的多晶硅材料制備技術(shù)國家工程實驗室，科研人員正在做實驗。本報資料圖片

河南日報記者 尹江勇

一粒小小的傳感器，可賦能萬物，感知大千世界；一枚晶瑩的半導(dǎo)體，可轉(zhuǎn)換光電，導(dǎo)向無盡未來。智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，作為新一代信息技術(shù)的核心，已然成為科技競爭的主戰(zhàn)場。省委、省政府著眼構(gòu)建現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)列為全省重點打造的千億級產(chǎn)業(yè)鏈。

漢威科技、仕佳光子分別在傳感器、激光器芯片領(lǐng)域牽頭實施2項國家重點研發(fā)計劃；龍門實驗室與中硅高科、麥斯克電子等企業(yè)聯(lián)合攻克了電子級多晶硅提純關(guān)鍵核心技術(shù)；平煤神馬集團碳化硅半導(dǎo)體實驗室成功生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠……去年以來，我省高位推動智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，令人振奮的創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn)。

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》；河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌；成功舉辦2023世界傳感器大會；河南省傳感器行業(yè)協(xié)會建設(shè)的全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺累計交易量突破20億元……我省搶抓機遇，圍繞補鏈延鏈強鏈整合優(yōu)勢，持續(xù)加大產(chǎn)業(yè)鏈培育力度，正努力把河南智能傳感器和半導(dǎo)體打造成為在全國有影響力的標志性產(chǎn)業(yè)。

創(chuàng)新驅(qū)動

　　企業(yè)主體“龍騰虎躍”

陽春三月，萬物生機勃發(fā)。在洛陽中硅高科技有限公司的硅基材料制備技術(shù)國家工程研究中心實驗平臺，十幾個攻關(guān)組組建了近20個研發(fā)團隊，每個團隊緊盯一個產(chǎn)品，研究人員正埋頭進行硅基電子材料新產(chǎn)品研發(fā)。

目前國家在集成電路領(lǐng)域需要的硅基材料有40余種。“我們要在2025年前在產(chǎn)業(yè)方面實現(xiàn)30種國產(chǎn)供應(yīng)，其余的要在實驗室實現(xiàn)基礎(chǔ)突破。”中硅高科副董事長、黨委副書記、總經(jīng)理萬燁表示，企業(yè)作為河南省電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)鏈和洛陽市集成電路和智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈鏈主單位，將加大科研投入力度，支撐洛陽產(chǎn)業(yè)鏈條沖刺百億級目標。

類似的企業(yè)發(fā)展場景在我省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條上正不斷呈現(xiàn)：去年10月17日，位于平頂山市的河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司年產(chǎn)2000噸電子級碳化硅粉體項目一期試生產(chǎn)成功，標志著河南電子級碳化硅粉體開始進入批量生產(chǎn)階段，填補了河南第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域空白。

今年年初，作為國內(nèi)氣體傳感器行業(yè)龍頭企業(yè)，漢威科技集團發(fā)布了JT-KWA系列激光家用可燃氣體探測器新品，意味著漢威科技集團已實現(xiàn)從激光器到傳感器模組再到可燃氣體探測器的全鏈條自主可控，引領(lǐng)激光氣體探測技術(shù)從工業(yè)走向民用領(lǐng)域，并形成了行業(yè)領(lǐng)先的產(chǎn)品優(yōu)勢。

“2023年以來，按照省委、省政府培育推進產(chǎn)業(yè)鏈工作統(tǒng)一要求，我省聚焦提升產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)高級化和現(xiàn)代化水平，緊密協(xié)作、齊抓共管，推動產(chǎn)業(yè)生態(tài)擴量提質(zhì)，產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新能力和核心競爭力正加速提升。”省科技廳黨組書記、廳長張銳介紹，鄭州、洛陽兩個產(chǎn)業(yè)核心區(qū)創(chuàng)新發(fā)展能力和集聚效應(yīng)顯著增強，三個高能級平臺穩(wěn)步推進，N個特色產(chǎn)業(yè)基地加緊建設(shè)，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打造成為全省新興領(lǐng)域標志性產(chǎn)業(yè)的信心進一步增強。

圍繞關(guān)鍵環(huán)節(jié)，強化科技攻關(guān)。河南省日立信股份有限公司研制出基于硅基氣敏薄膜芯片的MEMS氫氣、甲醛及硫化氫傳感器，已成功在核電、新能源汽車、智能家居等重點領(lǐng)域應(yīng)用驗證；鄭州磨料磨具磨削研究所、河南飛孟金剛石公司承擔的第三代化合物半導(dǎo)體用材料產(chǎn)業(yè)項目通過了國家驗收；平煤神馬集團碳化硅半導(dǎo)體實驗室生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠，填補了我省相關(guān)領(lǐng)域空白。

聚焦產(chǎn)業(yè)需求，創(chuàng)新服務(wù)發(fā)力。省科技廳圍繞我省7大萬億級先進制造業(yè)集群和28個重點產(chǎn)業(yè)鏈一體化布局創(chuàng)新鏈，全面啟動科技服務(wù)綜合體工作，為創(chuàng)新主體提供專業(yè)、精準、高效的創(chuàng)新服務(wù)。在智能傳感器和半導(dǎo)體方面，實施2023年度重大科技項目12項，省財政合計支持2580萬元，涵蓋材料、芯片、傳感器、裝備制造、應(yīng)用場景示范等方向，為提升產(chǎn)業(yè)鏈各關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心競爭力提供有力的科技支撐。

　　全鏈提升

　　“一谷多園”持續(xù)優(yōu)化

沿鄭州高新區(qū)科學(xué)大道往西，就能看到總投資60億元的中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū)，這里已集聚傳感器產(chǎn)業(yè)鏈核心及關(guān)聯(lián)企業(yè)3000余家，綜合實力居全國傳感器十大園區(qū)第四位。

智能傳感谷是我省打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群的核心承載平臺。“作為傳感谷建設(shè)的先頭部隊，啟動區(qū)內(nèi)的產(chǎn)業(yè)布局完全按照產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展要素而建，規(guī)劃有創(chuàng)業(yè)孵化大廈、中試基地、產(chǎn)學(xué)研基地、企業(yè)總部基地、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)及飛地孵化基地，打造國內(nèi)一流、國際先進水平的智能傳感物聯(lián)新高地。”啟動區(qū)項目負責人劉鵬告訴記者。

省委、省政府高度重視智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，將其列為河南省重點培育的28條產(chǎn)業(yè)鏈之一。根據(jù)2023中國民營經(jīng)濟發(fā)展論壇發(fā)布的《民營經(jīng)濟驅(qū)動產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展研究暨2023中國百強產(chǎn)業(yè)集群》報告，鄭州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群成功入選“百強”，位列河南第一。經(jīng)過多年發(fā)展，智能傳感谷的產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)加速集聚態(tài)勢，形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力（網(wǎng)）等多門類傳感器產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力。

截至目前，智能傳感谷已擁有國家級專精特新“小巨人”企業(yè)41家。其中漢威電子、新天科技、光力科技等6家智能傳感器上市企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模已由50億元壯大至300億元，年均增長45%。氣體傳感器國內(nèi)市場占有率達75%，氣體檢測儀表國內(nèi)市場占有率達15%，居全國首位。智慧水務(wù)、智慧環(huán)保、安全監(jiān)測等整體解決方案成為行業(yè)標桿。

根據(jù)規(guī)劃，智能傳感谷將重點圍繞智能傳感器材料、智能傳感器系統(tǒng)、智能傳感器終端“三個產(chǎn)業(yè)集群”，發(fā)展環(huán)境傳感器、智能終端傳感器、汽車傳感器“三個特色產(chǎn)業(yè)鏈”，形成千億產(chǎn)業(yè)帶。到2025年，智能傳感谷將打造千億級產(chǎn)業(yè)集群，鄭州市智能傳感器產(chǎn)業(yè)相關(guān)規(guī)模達到1000億元，建設(shè)國家級技術(shù)中心3個以上，培育超100家高新技術(shù)企業(yè)。

與此同時，全省加速布局智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈：洛陽市圍繞智能傳感器、電子特氣、硅基電子功能材料等重點細分領(lǐng)域，強化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，推動重點項目建設(shè)，加快打造半導(dǎo)體材料制造基地；新鄉(xiāng)市做大、做強、做優(yōu)特色電子氣體、芯片制造和芯片封測產(chǎn)業(yè)，新鄉(xiāng)高新區(qū)半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園項目正在規(guī)劃建設(shè)中；鶴壁市項目建設(shè)不斷加快，仕佳光子產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)優(yōu)勢地位得到加強；南陽市重點在紅外傳感器、光敏電阻等領(lǐng)域發(fā)力，并向氣體、火焰探測等工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用拓展，高標準建設(shè)社旗縣傳感器高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)項目；鄭州航空港區(qū)落地惠科、合晶硅片、龍芯中原總部等重大項目，與超聚變、比亞迪等終端項目形成產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)，打造泛半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)群。

俯瞰中原大地，以鄭州的智能傳感谷為核心，智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈已輻射四面八方。開封流量儀表、洛陽氣象監(jiān)測、新鄉(xiāng)MEMS制造、鶴壁光電傳感……各地逐步形成了各具特色的產(chǎn)業(yè)園區(qū)，全省“一谷多園”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局正在持續(xù)優(yōu)化。

平臺賦能

　　創(chuàng)新生態(tài)“枝繁葉茂”

進入我省搭建的“智能傳感產(chǎn)業(yè)生態(tài)平臺”，鄭州一家傳感器企業(yè)的研發(fā)人員上傳需求后，很快就在平臺上匹配到深圳一家企業(yè)，找到了研發(fā)急需的5G模組。“有了平臺支撐，可以大大加快我們企業(yè)的研發(fā)速度，并降低成本。”企業(yè)負責人王斌興奮地說。

據(jù)介紹，鄭州智能傳感谷啟動區(qū)打造了行業(yè)首個產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)平臺，匯聚產(chǎn)業(yè)全要素數(shù)據(jù)，組織產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質(zhì)資源，構(gòu)建起線上“傳感生態(tài)圈”，如今已有1000余家企業(yè)入駐，涵蓋3萬多個產(chǎn)品類別，幾乎可以滿足企業(yè)所有需求，助力傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展。

“為了構(gòu)建良好的智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈，我省全力提升創(chuàng)新能級，高標準建設(shè)了墨子實驗室、智能傳感器產(chǎn)業(yè)研究院、智能傳感器中試基地等省級創(chuàng)新平臺，加快建設(shè)省智能傳感器研發(fā)服務(wù)平臺，為技術(shù)創(chuàng)新、人才集聚、產(chǎn)業(yè)升級提供重要支撐。”省科技廳黨組成員、副廳長陶曼晞介紹，2023年以來，我省在平臺建設(shè)方面力度不斷增強——

去年7月10日，墨子實驗室正式揭牌，聚焦半導(dǎo)體光芯片全產(chǎn)業(yè)鏈布局研發(fā)方向，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)。10月30日，省工業(yè)和信息化廳牽頭成立河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，將墨子實驗室吸納為聯(lián)盟理事單位，推動墨子實驗室與省內(nèi)電子信息企業(yè)資源共享、協(xié)同合作。

2023年9月1日，智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺在鄭州高新區(qū)開工建設(shè)，項目總投資約15億元，力爭2024年9月具備部分投產(chǎn)條件，2025年年底達到交付使用條件。屆時，將實現(xiàn)“基礎(chǔ)研究—技術(shù)攻關(guān)—技術(shù)應(yīng)用—成果產(chǎn)業(yè)化”全過程無縫銜接，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向規(guī)模化、特色化、差異化、高端化，建設(shè)具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。

在集成電路領(lǐng)域，公共研發(fā)平臺和中試平臺建設(shè)工作也在快馬加鞭。去年10月8日，省委專題會議研究同意實施集成電路中試平臺（公共研發(fā)平臺）建設(shè)項目。去年11月28日，集成電路中試平臺項目在鄭東新區(qū)經(jīng)濟發(fā)展局完成了項目備案。目前，中試平臺建設(shè)工作正在有序快速推進。

令人振奮的是，從省智能傳感器行業(yè)協(xié)會傳來消息，“河南省智能傳感產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺”并購整合了中國傳感器網(wǎng)、傳感器專家網(wǎng)、傳感器咨詢網(wǎng)等國內(nèi)有影響力的產(chǎn)業(yè)平臺，已經(jīng)成為全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺，平臺累計交易量突破20億元。

“通過平臺匯聚產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)，組織上下游優(yōu)質(zhì)資源，構(gòu)建產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)和產(chǎn)業(yè)服務(wù)，我們可以實現(xiàn)從人才到研發(fā)、研發(fā)到產(chǎn)品、產(chǎn)品到場景、場景到市場的深度融合。”河南省智能傳感器行業(yè)協(xié)會秘書長朱寧表示，未來我省將進一步發(fā)揮產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)平臺作用，暢通“研發(fā)設(shè)計—產(chǎn)品—場景—市場”全要素對接渠道，為智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)立足河南、走向全國提供全鏈條服務(wù)。

　產(chǎn)業(yè)鏈名片

●智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是新一代信息技術(shù)的核心。我省傳感器領(lǐng)域已經(jīng)形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力（網(wǎng)）、環(huán)境檢測等多門類產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力，涵蓋了環(huán)境、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、電力等諸多領(lǐng)域；半導(dǎo)體方面也初步形成了關(guān)鍵材料、芯片設(shè)計、器件制造與封測等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，并在關(guān)鍵材料環(huán)節(jié)，硅片、濕化學(xué)品、電子特氣、超純銅等方面均取得重大突破。

●截至目前，我省在相關(guān)產(chǎn)業(yè)細分領(lǐng)域優(yōu)勢明顯，漢威科技的氣體傳感器、森霸傳感的熱釋電紅外傳感器、日立信的六氟化硫傳感器國內(nèi)市場占有率均居第一，光力科技的瓦斯抽采和氣體云監(jiān)測系統(tǒng)、新天科技的智能水表國內(nèi)領(lǐng)先，半導(dǎo)體封測設(shè)備核心傳感器已實現(xiàn)技術(shù)突破，壓力、聲學(xué)、激光、流量等傳感器供給能力得到了明顯增強。

●全省現(xiàn)有智能傳感器和半導(dǎo)體高新技術(shù)企業(yè)260余家，其中產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)上市公司已超過10家，擁有漢威科技、日立信、仕佳光子、麥斯克、多氟多等一批行業(yè)龍頭企業(yè)和單項冠軍企業(yè)。

大事記

●2023年4月

光力瑞弘半導(dǎo)體智能制造產(chǎn)業(yè)基地項目（一期）建成投產(chǎn)，劃片機實現(xiàn)穩(wěn)定供貨。

●2023年6月1日

第一次省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈培育工作會議召開，工作專班成立，省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長。

●2023年6月16日

省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營帶隊赴鄭州高新區(qū)調(diào)研智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。

●2023年7月6日

第二次智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作專班推進會召開，審議修改《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案》，安排部署下一步工作。

●2023年7月10日

墨子實驗室正式揭牌成立。省委書記樓陽生揭牌，省長王凱出席。

●2023年8月

麥斯克電子年產(chǎn)360萬片8英寸硅外延片正式開工建設(shè)；中硅高科電子信息材料轉(zhuǎn)型升級項目建成調(diào)試。

●2023年9月1日

智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺在鄭州高新區(qū)開工建設(shè)。

●2023年9月20日

鄭州合晶硅材料有限公司12英寸大硅片項目開工建設(shè)。

●2023年10月

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》。

●2023年10月28日

超算互聯(lián)網(wǎng)核心節(jié)點建設(shè)工程項目簽約暨開工儀式在鄭州舉行。省委書記樓陽生講話，省長王凱出席。

●2023年10月30日

河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌。

●2023年10月31日

河南省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作推進會暨產(chǎn)業(yè)金融合作對接會在中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū)召開。

●2023年11月5日至7日

2023世界傳感器大會在鄭州召開。

●2023年12月6日至8日

經(jīng)國務(wù)院批準，2023世界5G大會在鄭州成功舉辦。

河南日報記者 尹江勇 整理